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IC STOCKER

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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有国际总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局国际市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家国际企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!

详细信息

用于IC行业FOUP自动化搬送、存储实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计,可使洁净度达到ISO Class4等级要求;带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能,有效保护FOUP、晶圆、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失;全新的系统运动逻辑规划,提高产品搬送效率;标准的SEMI软件接口,可以方便对接面板厂MCS系统,可实时上报系统各种状态数据,实现工厂智能管理;可以根据客户应用的特殊要求,定制设备功能及尺寸。


参数:

设备

IC Stocker

运动轴

行走 / 提升/ 旋转/ 叉取

有效负载

10kg

控制

PLC+PC

电源供应

VAC 220V±10%

电机

伺服电机

行走

驱动

齿轮齿条+减速机+电机

速度

2.2m/s

提升

驱动

电机减速机+同步带+带轮

速度

1.75m/s

旋转

驱动

电机+同步带+减速机

速度

120°/sec

叉取

驱动

电机减速机+同步带+带轮

/下料时间

4.8s

叉取FOUP精度

±0.5mm


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