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EFEM是一个晶圆前端传输设备,是一个与SEMI标准兼容的界面系统,可以手动或者配合MR或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制,充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小,采用带外部轴的双臂机械手,通过双轴复合运动实现取放片,极大的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构,保证内部空间洁净度能够满足ISO Class 1级别,保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护,从软件到硬件,多重保证晶圆传输过程中的安全,人员与设备的安全。
参数:
项 目 | Input信息 | |
Wafer规格 | 材质尺寸 | 200mm/300mm wafer |
Alignment Mark | Notch/ Flat | |
厚度 | 标准wafer | |
温度 | ≤200℃ | |
与传送片接触处的材质 | 陶瓷 | |
片盒规格(类型、厂家、段数、段间距等) | Foup/Adaptor | |
AMHS(自动物料搬送系统)要求 | OHT | |
搬送精度(Alignment精度) | ±0.1mm | |
Particle Spec | ISO Class 1 | |
Throughput | >100wfrs/h | |
Stage数(LP数) | 2 | |
Load Lock | Stage数(LL) | 2 |
位置(XYZ) | 两个LL | |
Wafer放置精度 X-Y | ±0.1mm | |
Wafer放置角度精度 | / | |
整机规格 | 参照尺寸说明 | |
Foot Print | W | ≤2100 |
D | ≤750 | |
H | ≤2500 | |
重量 | ≤1200KG | |
整机设计参照标准 | SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400 | |
软件界面设计参考标准 | SEMI E30, E84 |