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TTS-2000 EFEM(两工位EFEM)

型号

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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有国际总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局国际市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家国际企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!

详细信息

EFEM是一个晶圆前端传输设备,是一个与SEMI标准兼容的界面系统,可以手动或者配合MR或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制,充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小,采用带外部轴的双臂机械手,通过双轴复合运动实现取放片,极大的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构,保证内部空间洁净度能够满足ISO Class 1级别,保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护,从软件到硬件,多重保证晶圆传输过程中的安全,人员与设备的安全。

参数:

Input信息

Wafer规格

材质尺寸

200mm/300mm wafer

Alignment Mark

Notch/ Flat

厚度

标准wafer

温度

200

与传送片接触处的材质

陶瓷

片盒规格(类型、厂家、段数、段间距等)

Foup/Adaptor

AMHS(自动物料搬送系统)要求

OHT

搬送精度(Alignment精度)

±0.1mm

Particle Spec

ISO Class 1

Throughput

>100wfrs/h

Stage数(LP数)

2

Load Lock

Stage数(LL

2

位置(XYZ

两个LL

Wafer放置精度 X-Y

±0.1mm

Wafer放置角度精度

/

整机规格

参照尺寸说明

Foot Print

2100

750

2500

重量

1200KG

整机设计参照标准

SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

软件界面设计参考标准

SEMI E30, E84


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