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真空机械手ARCHER 系列

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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有国际总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局国际市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家国际企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!

详细信息

机械手本体采用多电机同轴结构,动作更加灵活稳定;高重复定位精度,并具备AWC自动纠偏功能,保证传片精度;耐真空性,可胜任高真空环境下晶圆传片需求。直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。IO模块具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁、传感器检测等功能。输入信号支持硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。在此基础上,Archer Q41采用双手蝴蝶手形式,四手指结构,双取双放,大大提高了晶圆传片效率。Archer Q41/R41可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。

参数:

本体重量Body Weight

90KG

适用晶圆尺寸Wafer Size

300mm/200mm

负载Payload

1KG

电源输入Power Supply

AC电压:208V AC频率:50HZ/60HZ

电源范围 电压波动范围

单相交流208V +10%-15%

节拍Bear

8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料,传输位置不同相关)

动态偏差纠正精度(AWC)

±0.1mm

运动范围

Range

R994mm

T:>360°

Z135mm

重复定位精度Repeatability

Z: ±0.05mm3σ)

T: ±0.003°(3σ)

R: ±0.05mm3σ)

漏率Leak rate

< 5 x 10-9 std. cc/sec He

真空度Base Pressure

3X10-8Torr

适用温度

Applicable temperature

法兰:<90;本体:<50;手臂:<90

洁净度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>12.8million cycles

通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互锁IO interlock

支持Support


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