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Pre-Aligner预对准机SALN-612A-2V

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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有国际总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局国际市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家国际企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!

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晶圆预对准是晶圆搬运以及整个IC制造过程中的重要环节,晶圆的定位与识别都需要Pre-aligner的参与。晶圆预对准的目的是计算晶圆的偏心并找到其缺口,进而补偿其偏心并将缺口转至一预设方向,为下一步的晶圆识别或处理做好准备。新松Pre-Aligner具有定位精高、对准速度快等优点,大大缩短了晶圆的传输与处理时间,提高了晶圆的生产效率。


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