新一代曝光光刻机UV KUB 3
UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻机，其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光学准直系 统，可实现 1um 的光刻精度和小于 2°的发散角。UV KUB 3采用开放式样品盘，可以进行不同模式的曝光 光刻，如软接触或硬接触模式；同时配备了高精密 的位移台，辅以双 CCD 成像系统，可在 5 分钟内实 现 1um 的对位精度。
特色
- UV LED 光源
- 设计紧凑，操作简单
- 高精度 365nm +/- 5nm 单色光光源
- 可进行软接触和硬接触曝光光刻（含
- 压力测量传感器）
- 兼容目前市场上的全部光刻胶
- 分辨率: < 1µm
主要性能
- 365nm 单色 LED 光源，带宽小于 10nm
- 图像辅助的自动巡航 PAD 操作对准定位系统
- 采用高光强 LED 冷光源，避免光源发热引起的温度
- 变化干扰，提高光刻面均匀性；
- 光源寿命大于 10000 小时，减少维护及使用成本；
- 可调节 UV 光强
- 友好的触摸屏操作界面，可编程光刻工艺；
- 无需预热，快速开始进入工作状态；
- 全封闭紫外曝光区域，保障操作人员的安全；
- 半自动晶圆上下料系统
- 低功耗，节能环保
性能指标
- 最小光刻尺寸 1µm
- 对位精度 1µm
- 紫外光源波长 365nm +/- 5nm
- 光源光强 35mW/cm² +/- 10%
- 光刻区域工作温度变化 < 1°C
- 工艺时间 (连续/非连续模式) From 1s to 1h
- 可保存光刻工艺数量 无限制
- 外形尺寸 475x480x515mm
- 总重量 55kg / 121lbs
- 触摸屏尺寸 15.6” diagonal,color
- 供电电源 100V/240V –
- 50Hz/60Hz
- 功耗 180 Watts
