项目

参数

测量范围

X轴驱动器

150mm

Z1（传感器）

粗糙度和轮廓共用

50mm

立柱高度

500mm

指示精度

X轴

（L=X轴移动导轨距离）

±(0.8+0.01L)μm

Z1轴

（H=Z1轴方向测量高度）

±(0.8+0.02H)μm

残值轮廓

≤0.005μm

示值误差

≤±(5nm+0.1A)

示值稳定性

≤±7%

重复性

1δ≤2nm

角度

≤±1′

圆弧

（R=标准圆弧值）

≤±(1.0+R/12)μm

X轴驱动器

直线度

1.2μm /150mm

分辨率

0.05μm

Z1传感器

轮廓/粗糙度共用

类型

光栅传感器

分辨率

0.01μm

轮廓/粗糙度共用测针

25μm  12°

测针材质

硬质合金

粗糙度专用测针

2μm  60°

测针材质

金刚石

评定长度

λc×3、4、5、6、7

截止波长

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

测量方式

传感器移动

运动控制

导轨速度

0.02mm至6mm/s

立柱移动速度

0.1mm至10mm/s

测量速度

0.02mm至5.0mm/s