项目 Item | 参数 Parameter |
测量范围 measuring range | 直径 Max. dia. | ф300mm |
最小内径 Min. inner dia | ф5mm |
高度 Max height | 420mm |
主轴精度 Spindle accuracy | 径向误差 Radial error | ±(0.025+5H/10000)μm |
轴向误差 Axial error | ±(0.025+6X/10000)μm |
回转轴线与Z轴导轨平行度 Parallelism between Rotary Axis and Z-Axis Guideway | 1.2μm/200mm（母线基准） |
工作台 Workbench | 台面直径Table dia. | φ160mm |
回转直径Rotation dia. | φ400mm |
承载重量Load Wt. | 30Kg |
调整范围 Adjustment range | 调偏心±3mm ; 调水平±2° Adjust the eccentricity ±3mm; adjust the level ±1° |
旋转速度spinning speed | 0-12 rpm |
立柱 | 直线度（窄范围） | 0.3μm /100mm |
直线度（全范围） | 0.8μm /300mm |
水平臂 Horizontal arm | 水平移动距离 Horizontal moving distance | 160mm |
移动速度Moving speed | 0.5-6mm/s 或手动 0.5-6mm/s or manual |
传感器 sensor | 量程range | 500μm (半径差) 500μm (radius difference) |
分辨率Resolution | 0.005μm |
测针形状 Stylus shape | φ2x10mm、φ1x10mm、φ0.5x10mm 红宝石球测头各一个 |
测力 Force measurement | 1-12g |
数据采集 Data acquisition | 进口光栅14400点/周 Imported grating 14400 points/cycle |
放大倍率 Magnification | 任意至20万倍 Arbitrary to maximum 200,000 times |
气源压力Air Source | 0.45～0.80Mpa |
气源流量Air consumption | ≥0.2 m³/min |
电源Power | AC 220V±10% 50Hz |
环境要求Environmental conditions | 温度(T)：10～30℃；相对湿度(RH)：＜85% |
