项目  Item

参数 Parameter

测量范围

Measurement range

X轴axis

100mm

Z1（传感器）Sensor

40mm

高度Height

400mm

测量精度

Measurement Accuracy

X轴

（L=X轴移动导轨距离）

(L=X moving distance)

±（1.5 +0.2L/100）μm

Z1轴

（H=Z1轴方向测量高度）

(H=Z1meas. Height)

±（1.2+0.3H/100）μm

角度

≤±2′

半径R≤10mm

±1.5μm

X轴

X

直线度Straightness

0.8μm /100mm

分辨率Resolution

0.2μm

产地Origin

美国MicroE （America）

传感器

Sensor

类型 Type

光栅传感器 Digital grating sensor

分辨率Resolution

0.1μm

产地Origin

美国MicroE （America）

爬坡角度Climbing Ability

上升77°（Upside）， 下降88°（Downside）

测量速度Meas. Speed

0.02mm至4.0mm/s

测量方式Meas. Mode

传感器移动Sensor moving

电源Power

AC 220V±10%  50Hz

环境要求Environmental conditions

温度(T)：10～30℃；相对湿度(RH)：＜85%