分子束外延系统

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具体成交价以合同协议为准
2024-02-26 15:50:18
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中科艾科米（北京）科技有限公司

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产品简介

主要特点/MAINFEATURE主要特点/MAINFEATURE●结构紧凑、操作简单、节约成本●结构紧凑、操作简单、节约成本产品应用/APPLICATIONS●表面科学

详细介绍

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

●结构紧凑、操作简单、节约成本

●结构紧凑、操作简单、节约成本

  产品应用  / APPLICATIONS

 

● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。

  产品应用  / APPLICATIONS

 

● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

 

CMP-MBE

8英寸不锈钢球形真空腔体

本底真空

<1×10-10 mbar

四轴高低温样品台

X/Y方向移动：±5mm；
Z方向移动：150mm；
轴向旋转：±180°；
高温：1300K（电子束加热）；
低温：100K（液氮冷却）。

蒸发源

5个

离子枪

2~5KeV离子枪，配备Port Aligner

可选项

（1）QCM；（2）红外测温仪；（3）反射式高能电子衍射仪

 

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