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主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●蒸发温度不小于3000℃
●精确的线性推进:0.01mm精度,25mm行程,特殊设计
●内置挡板,不受空间限制打开
●可靠的束流监控,有效避免外界电磁场影响
●填料方便快速
●超高真空兼容
●蒸发温度不小于3000℃
●精确的线性推进:0.01mm精度,25mm行程,特殊设计
●内置挡板,不受空间限制打开
●可靠的束流监控,有效避免外界电磁场影响
●填料方便快速
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学 ● 超薄膜层 ● 多分子层
● 掺杂 ● 样品制备 ● 密接金属化
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学 ● 超薄膜层 ● 多分子层
● 掺杂 ● 样品制备 ● 密接金属化
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35:DN40CF ⑥ 可选 P:气动,M:手动
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35:DN40CF ⑥ 可选 P:气动,M:手动
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
安装法兰 | DN40CF (O.D. 2.75'' ) |
烘烤温度 | 200℃ |
腔内直径 | 34mm |
腔内长度 | 210 mm标准长度, 170mm~400mm 可选长度 |
源数量 | 1 |
样品类型 | 棒材,颗粒,粉末(可供坩埚) |
冷却方式 | 内部水冷, 1L/min |
束流监控范围 | 0.1nA~1mA |
灯丝电流 | 0~7A (10mA step) |
加速电压 | 0~2000V |
功率 | 250W |
束流发散度 | ±6° |
蒸发温度 | ≥3000℃ |
坩埚尺寸 | 0.1cc |
坩埚材料 | 钨,钼,钽,石墨,可定制其他材料 |
棒材尺寸 | 直径1~4 mm,长度20~100mm |