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主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
● 超高真空兼容
● 优异的温度和束流稳定性
● 独立式的水冷结构，源与水冷可单独拆卸
● 多样的灯丝设计，可满足不同升温需求
● 坩埚容积可达155cc
● 超高真空兼容
● 优异的温度和束流稳定性
● 独立式的水冷结构，源与水冷可单独拆卸
● 多样的灯丝设计，可满足不同升温需求
● 坩埚容积可达155cc
产品应用 / APPLICATIONS
● MBE，表面科学，薄膜生长，样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域
产品应用 / APPLICATIONS
● MBE，表面科学，薄膜生长，样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 100：DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF
④可选 H: ≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃
⑥可选 P: 气动, M: 手动 ⑧可选 K: type K, C: type C
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 100：DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF
④可选 H: ≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃
⑥可选 P: 气动, M: 手动
⑧可选 K: type K, C: type C
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
| 安装法兰 | DN40CF (O.D.2.75'')， DN63CF (O.D. 4.5'' )，DN100CF (O.D. 6.0'' ) |
| 腔内长度 | 180~500mm可选 |
| 腔内直径 | 36mm, 56mm, 96mm |
| 工作温度 | ≤1500℃ |
| 加热方式 | 钽丝加热 |
| 温度稳定性 | ±0.1℃ |
| 温度测量 | K型热偶或C型热偶 |
| 烘烤温度 | 200℃ |
| 源数量 | 1 |
| 坩埚材料 | 石英, 氧化铝, 热解氮化硼, 可定制其他材料 |
| 坩埚容积 | 7cc, 10cc, 60cc, 155cc |
| 冷却方式 | 一体式水冷或独立式水冷壁，与源炉分开拆卸 |
| 挡板 | DN40CF含内置挡板，可选气动或手动 |
