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磁耦合的旋转活塞泵,密封,干燥压缩,空冷。
适用于清洁工艺、颗粒物和粉尘的工艺,UniDry 50在排气侧使用冷凝或升华技术来处理应用。此外,其还具备低泄漏率和易安装的特点。
取决于工艺要求可采用不同的惰性气体
得益于空气冷却和惰性气体消费而实现的低运行成本
与水蒸气的良好兼容性
干压缩泵系统
OktaLine 罗茨泵 250/500 的前级泵
HiPace 涡轮分子泵站的前级泵
检漏
装载互锁室
空间模拟
加速器
分析仪器
纯净气体
干燥工艺
镀膜
半导体
冶金