低温等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低温等离子原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安然物质，或使性能稳定物质转变成低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得好速度适宜。作为环境污染处理行业中的一项具有较强潜在优势的技术，等离子体受到了众多地区相关学科界的高度关注。

低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生很大的危害；另外工业烟气的无控制排放使公共性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。

低温等离子净化器广泛应用于化工厂、橡胶厂、炼油厂、制药厂、垃圾站等有废气产生的场合，此设备是利用能力好高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，进而产生臭氧。恶臭气体利用排风设备输入到UV低温等离子净化器后，运用能力好UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，达到脱臭及杀灭 物质的目的，后通过排风管道排出室外。