磁控溅射工作原理：

低气压下气体的辉光放电现象（与直流相同），显著区别：

1. 靶材后有磁铁，直流没有；

2. 靶材电压为-600V左右，显著低于直流；

3. 绝大部分电子和负离子在电场和磁场的共同作用下，做螺旋线运动，单个电子电离的气体分子大大多于直流，因此，在较好的真空、较低的电压下即可获得较大的电流；

4. 在磁场在作用下，绝大部分电子和部分负离子落在靶材附近，无法到达样品台，对样品基本没有热损伤

工作特点：溅射电流与压力无关、基本没有热损伤。

应用领域：适用于所有样品，尤其是温度敏感性样品、如生物、聚合物等样品

                    工作时真空度好，镀膜的颗粒度更小，更适用场发射等高分辨观测

                    电极制备。

GVC-2000镀膜后电镜效果图，高分辨图片中，无明显颗粒感，适配高分辨扫描电镜，充分体现表面细节特征

（左）

（右）

上面两张图片为锂电池隔膜样品的电镜图片：

左侧图片为GVC-2000喷金后的电镜观测图，可以看出，样品形貌真实完整；

右侧图片为其他设备喷金后的电镜观测图片，可以看出，热损伤严重，几乎无法识别为同种样品。

镀膜颗粒度：

GVC-2000离子溅射仪

产品特点：

一、安全

1．高压线多重防护，外加8×5透明真空管，安全；

2．外壳良好接地；

3．真空互锁；

4．电流＞50mA，真空度超过100Pa，系统自动切断溅射；

5．实体按键，安全；

6．溅射头采用阻尼设计，任意位置悬停

二、注重用户体验

1．5英寸液晶屏，简洁明了；

2．最多设置两个参数，即可开始工作；

3．参数设定后，系统自动调整真空度，无需人工调节针阀，简单方便；

4．自动放气；

5．样品台高度1秒调节。

三、信息量大

1．溅射过程中真空度和溅射电流以曲线方式实时显示，简单直观；

2．靶材使用时间，仪器使用时间系统自动记录，直观了解设备的运行状态。

四、快速上手

设备内置操作向导，在操作人员更换时，无需培训，即可快速熟练操作设备。

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