AALBORG模拟质量流量控制器AFC

AALBORG模拟质量流量控制器AFC，产品概要

AFC 模拟热式质量流量控制器

设计特点

刚性金属结构

可用流量范围从 0 到 10 sccm 到 0 到 100 slpm

大压力 1000 psig (70 bar)

0-5 Vdc 或 4-20 mA 信号

泄漏完整性 1 x 10 -9 smL/sec 氦气

±1% 满量程精度

累加器选项

电路保护

AFC 模拟质量流量控制器

AFC 型模拟质量流量控制器旨在指示流量和控制气体的设定流量。

这些单元中的每一个都包含一个*的直管传感器以及由不锈钢制成的流道元件。命令模块的 LED 读数提供 0 到 99% 的校准。从变送器外部可以方便地进行零位和跨度调整。

操作原理

计量气体分为两条层流路径，一条通过主流管道，另一条通过毛细管传感器管。两个流道都设计为确保层流，因此它们的流速比是恒定的。

传感器管上的两个精密温度传感绕组被加热，当流动发生时，气体将热量从上游带到下游绕组。产生的温差与传感器绕组的电阻变化成正比。

惠斯通电桥设计用于监测传感器绕组上与温度相关的电阻梯度，该电阻梯度与瞬时流量成线性比例。

生成 0 至 5Vdc 或 4 至 20mA 的输出信号，指示计量气体的基于质量分子的流速。

In AFC mass flow controllers the combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 闭环控制电路连续监测质量流量输出并将其保持在设定流量。

在规定的限制范围内，流速不受温度和压力变化的影响。

AFC 质量流量控制器包括一个电磁控制阀，该阀允许将流量设置为特定型号范围内的任何所需流量。作为安全功能，阀门通常处于关闭状态，以确保在断电的情况下关闭气流。

AFC 质量流量控制器设计用于计量和控制气体流量，流量范围为 10 sccm 至 100 slpm [N2]。气体通过 1/4”、3/8” 或可选的 1/8” 压缩接头连接。这些控制器可用作台式装置或通过螺钉安装在底座上。

传感器电源端口有保险丝和极性保护。

氦气泄漏完整性

1 x 10 -9 smL/sec 大到外部环境。

质量流量系统

完整的质量流量系统包括命令模块、传感器和电缆。命令模块包含适当的电源、带有 3-1/2“ 数字 LED 读数的数字面板仪表和高精度电位器。外部 RS-232 或 RS-485 是可选的。

命令模块前面板上的开关选择 LOCAL 或 REMOTE 参考信号，模拟输出可通过方便的 9 针 D 型连接器访问。