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AALBORG质量流量器DPC,产品概要 具有多气体功能、温度和压力的精密数字质量流量器 设计特点 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度。 多气体功能:支持 90 种不同的气体和气体混合物。 “用户定义的混合物”功能允许创建和存储 20 种自定义气体混合物,每种混合物多 5 种不同的气体。 快速(100-150 毫秒)响应时间。 标准精度 ± (0.5% RD + 0.2% FS)。 200比1的调节比。 两个可编程的质量流量累加器。 具有质量流量、温度和压力的预设动作延迟的高、低或范围内警报。 用户可编程质量流量脉冲输出(通过 SSR)。 具有状态 LED 或 OLED 指示的自诊断。 所有 3 个用户可选的模拟输入和输出接口都是标准的:0-5Vdc、0-10Vdc、4-20mA。 两个用户可选择的数字通信接口(RS-232 和 RS-485)是标准的。 带有隔离 RS485 收发器的可选 Modbus RTU 网络接口。 具有锁存选项的用户可编程固态继电器。 通用 12-26 Vdc 电源输入。 带有操纵杆的本地高对比度 OLED(可选)图形显示器。 易于使用的配置和校准软件 (RS-232/RS-485) 可编程设定点表,具有多达 16 步的上升/下降能力。 Aalborg Instruments 的 DPC 系列精密数字质量流量器可对工艺气体的质量流量进行准确稳定的。质量流量、体积流量、压力和温度参数的固有同步显示促进了各种行业的应用,例如科学和分析应用、反应器和表面沉积、气体采样、制造和计量活动。 DPC 精密数字质量流量器包含多种气体功能,允许现场用户通过可选的 OLED/操纵杆接口在本地选择多达 30 种不同的气体,通过 RS232/RS485 接口或可选的 ModBus RTU 接口远程选择。 DPC 流量器支持各种功能,包括:用户可选的本地、模拟、数字或程序设定点,两个可编程流量累加器,LOW、HIGH 或 RANGE FLOW,温度和压力警报,自动调零(通过本地或通信接口),可编程 SSR 继电器、可编程 0-5 Vdc、0-10 Vdc 或 4-20 mA 模拟输入和输出、用户可编程脉冲输出(通过 SSR)和的自诊断功能。AALBORG DPC 系列差压式质量流量器具有批处理模式的累加器,±(0.5% RD + 0.2% FS) 标准精度,200:1 调节比和小于 150 ms 的响应时间。 与具有这些功能的单个 DPC 的成本相比,与购买和安装多个特定于应用程序的设备的成本相比,显着的节省是显而易见的。 操作原理 DPC 质量流量器的操作基于对特别设计的节流元件 (RFE) 的压差测量。限流器流量元件设计用于在仪器操作的整个范围内(从满量程的 0% 到 133%)建立层流。高精度和高分辨率差压传感器用于测量层流通道上的压降,该压降与体积流量成线性比例。为了将体积流量转换为质量流量,使用了高精度和高分辨率的压力和温度传感器。根据传感器的数据和仪器内置气体数据库中的气体特性,微器计算体积和质量流量,压力和温度参数可在仪器显示屏上以及通过数字接口 RS-232、RS-485 或可选的 ModBus RTU 获得。此外,质量流量读数可通过仪器模拟接口访问,用户可以将其设置为 0-5 Vdc、0-10 Vdc 或 4-20 mA 模式。