激光干涉仪是激光在计量领域中zui成功的应用之一，利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，在不同领域都有极为广泛的应用，如利用F-P干涉仪和半导体激光二极管测量大型精密离心静态臂长；利用电子散斑干涉技术实现物体表面微小形变的非接触式测量、李永干涉合成孔径雷达实现对地表变形进行测量；利用相干梯度敏感干涉测量技术对静态断裂现象的测量；利用非共面多光束干涉可以在空间形成二维或三维周期性强度分布，从而被用来制作二维或三维光子晶体；利用全息干涉技术可用于位移及形变测量、应变与应力分析、缺陷或损伤探测、振动模式可视化及测量、晶体和蛋白质生长过程监测、流体中密度场和热对流场的观察与测量、以及光学材料与器件的参数测量等。

    本文简要介绍一下激光干涉仪在如下几个领域的应用情况。

    1. 位移传感器

    激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势，其特点是测量精度快、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨，将反射镜同被测传感器放在一起同步检测，从而形成对比，位移传感器自动检定系统与HP干涉仪对定位移进行测试对比，得出往复测试实验结果。

    2. 数控机床检定中的应用

    随着数控机床应用的普及，采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测已经成为目前*的高效、高精度的检测方法。激光干涉仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等在线位置测量、误差修正和控制，其中双频激光干涉仪应用zui多。与传统的检定方法相比，激光干涉仪具有较高的精度和效率，并能及时处理数据，为机床误差修正提供依据，位置精度是机床的重要指标，目前各国机床检定标准中都*使用激光干涉仪。双频激光干涉仪在机床中的应用是其它传统测量手段难以实现和替代的。