椭偏仪

ME-210椭偏仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2017-06-11 16:24:47
805
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北京飞凯曼科技有限公司

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产品简介

北京飞凯曼公司提供光子晶体探测器型椭偏仪。这种光子晶体探测器型的是有日本PHL公司*,并应用到的测试中。日本PHL公司在光子晶体的研究和制造领域*世界,由此开发出的光子晶体探测器型具有测试速度快、测量准确、免维护、价格低廉等特点已经在光学薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等领域有着广泛的应用。该可快速准确测量薄膜的厚度和折射率的分布。

详细介绍

北京飞凯曼公司提供光子晶体探测器型椭偏仪。这种光子晶体探测器型的椭偏仪是有日本PHL公司*,并应用到的测试中。日本PHL公司在光子晶体的研究和制造领域世界,由此开发出的光子晶体探测器型具有测试速度快、测量准确、免维护、价格低廉等特点已经在光学薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等领域有着广泛的应用。该可快速准确测量薄膜的厚度和折射率的分布。

相比传统的光谱型,光子晶体探测器型避免了探测器的机械运动。使得测试速度更快、测试更加准确、成本更加低廉。

ME-210型光子晶体探测器型特点:

  1. 可用于8英寸样品的3D快速成像
  2. 可用于厚度差异小于1nm以内的薄膜的快速和高精度成像
  3. 超高速测量,zui高速度可达20000/分钟
  4. 超高分辨率的测量,zui小面积可达50um2
  5. 可进行透明基底上的薄膜的测试

技术规格:

型号

ME-210/110

 

重复性精度

0.1nm(厚度), 0.001(折射率)

测量速度

每分钟1000个点以上

光源

636nm 半导体激光器

测量点尺寸

0.5mm2

 

入射角

70

样品尺寸

8英寸(可选12英寸)

 

仪器尺寸和重量

650x650x1740mm/120kg

 

数据接口

千兆以太网(摄像机信号),RS-232C

电源

AC100-240V(50/60Hz)

软件

SE-View

 

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