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FR-μProbe 显微薄膜测量仪
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FR-μProbe 显微薄膜测量仪
1. 原理介紹 
FR-μProbe 显微薄膜测量仪是一款小型化的一站式解决方案，用于通过光学显微镜在各种模式下进行光学测量，例如:吸光度、透射率、反射率和荧光。
主要包含两个光学组件：一个在显微镜支持的光谱范围内运行的光谱仪和一个安装在任何三筒光学显微镜 C-mount端口上的模块。
用于测量的光源来自光学显微镜本身。测量光斑的大小区域由所用物镜的放大倍数定义。
通常对于 50X 物镜，测量区域是一个直径约 5μm 的圆形。通过使用更高放大倍率或更小孔径的物镜，可以进一步缩小测量光斑.
通过所测量反射率光谱與理论光谱处理，计算出所研究的薄膜堆叠区域的各层薄膜膜厚度和光学常数 (n & k)
Fig. 1: FR-μProbe安装在使用内部光源的光学显微镜上
Fig. 2: 使用 FR-Monitor 软件通过显微镜的 20 倍物镜对厚 SiO2 膜进行测量。
任何具有基本计算机技能的人都可以轻松使用该系统，无需任何光学知识，并且需要一台带有 USB 端口的 PC。
备注：
1）规格如有更改，恕不另行通知；
2）与校准的光谱椭偏仪和 XRD 比较的测量值；
3）15 天平均值的标准偏差平均值。 样品：Si 晶片上的 1 微米 SiO2；
4）100 次厚度测量的标准偏差。 样品：Si 晶片上的 1 微米 SiO2；
5）2 (15 天内每日平均值的标准偏差)。
样品：Si 晶片上的 1 微米 SiO2。显微镜上没有红外滤光片。
** 使用反射物镜
2. 测试分析软件
FR-Monitor® 为光谱测量控制软件，并为广泛的应用和多功能性提供独特的功能。它实时获取吸光度、透射率、反射率或荧光光谱，并凭藉在 Visual C++ 中实现的算法执行非常快速的计算。
在吸光度/透射率配置中，所有典型参数，例如 A (absorbance ) 、T (transmittance )皆可计算。此外，还计算了其他非常规参数，例如在其他测量中非常有用的信号积分。
在反射率测量的情况下，FR-Monitor 软件包括白光反射光谱 (WLRS) 算法 (ThetaMetrisisTM)，用于精确计算膜厚（<10nm 至 100μm）和独立的光学常数 (n & k) 并且支持（在透明或部分/全反射基板上）多层堆迭（<10 层）薄膜计算。
