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FR-InLine:在线薄膜厚度测量仪

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??岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期,岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有*的业务。我们还在马来西亚,新加坡,中国台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注:在大陆地区注册的公司名称为:岱美仪器技术服务(上海)有限公司,并有东莞分公司和北京办事处。

详细信息

1、简述

FR-InLine 是一款模块化可扩展的在线薄膜厚度测量仪(膜厚仪),可进行在线非接触测量 3nm-1mm 厚度范围内的涂层。

FR-InLine 膜厚仪并可以依据各种不同应用设置多个参数的实时测量,例如:反射率和透射率光谱、厚度、色座标。

FR-InLine 膜厚仪测量软件可以在标准 Windws 10/11 中执行。

2、产品应用

  • 透明和半透明涂层

  • 眼镜上的涂层

  • 食品工业

  • 光学薄膜

  • 包装

  • 粘合剂

  • 聚合物

  • 可挠式电子和显示器

  • 其他各种工业……

(联系我们了解您的应用需求)

3、产品特征

FR-InLine 膜厚仪提供半宽(蕞多 4 通道)和全宽(蕞多 8 通道)3U 机架安装机箱,可实时测量涂层的薄膜厚度。 FR-InLine 通过标准I/控制埠为启动/停止/复位功能提供外部触发选项。测量数据可立即供其他软件使用,以进一步调整生产流程。工程师可以轻易完成安裝。

4、附件

FR-InLine 附带多个附件,例如:

§TCP/IP 通信

§支持任何特定需求长度和配置的反射探头和光纤

§光学模块(例如聚焦透镜、运动支架),以协助探头安装在产线上

5、其他特点

提升流程运行时间和产品质量

减少原材料消耗和成本控制

6、FR-InLine 规格(标准配置)

Model

UV/Vis

UV/NIR-EXT

VIS/NIR

NIR

NIR-N1

WLRange–nm波长

200–850

200–1020

370–1020

900–1700

850-1050

Pixels像素

3648

3648

3648

512

3648

ThicknessRange*1

3nm-80um

3nm-90um

15nm-90um

200um

1um-400um

n&k-MinThick

50nm

50nm

100nm

500nm


Thick.Accuracy*2

1nm/0.2%

1nm/0.2%

1nm/0.2%

3nm/0.4%

50nm/0.2%

Thick.Precision*3,4

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.1nm


Thick.stability*5

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.15nm


LightSource

ExternalDeuterium&Halogen,2000h

Halogen(internal)3000h(MTBF)

IntegrationTime

5msec(min)


5msec(min)


Spotsize

Diameterof350um(smallerspotsizeoptionsareavailableuponrequest)

MaterialDatabase


>700differentmaterials


Connectivity



USBorTCP/IP



Power


100-240V50-60Hz



FR-InLine膜厚仪测量图示FR-InLine膜厚仪测量图示2

注:

*1规格如有变更,恕不另行通知,*2与校正过的光谱椭偏仪和x射线衍射仪的测量结果匹配,*3超过15天平均值的标准偏差平均

值,样品:硅晶片上1微米Si2,*4标准偏差100次厚度测量结果,样品:硅晶片上1微米Si2,*515天内每日平均值的2*标准差。样品:硅片上1微米Si2。

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