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薄膜应力和硅片翘曲检测仪 薄膜应力和硅片翘曲检测仪
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- 薄膜应力和硅片翘曲检测仪
铂悦仪器自2004年成立以来，凭借与世界各大仪器的战略合作关系，以及不断优化公司自身经营管理，提高服务质量，成为中国国内的仪器供应商。铂悦仪器所提供的产品均属于高科技行业，产品包括高精度的分析仪器、检测仪器和生产设备，以及配套的耗材和配件，这些产品广泛应用于半导体、工业、太阳能、医药、医疗器械、生物、能源、电子、石化等各个领域并服务于各大院校、研究所、检测机构、及政府部门等。
铂悦仪器不仅拥有高品质的产品，更培养了专业的销售、技术和售后服务团队，本着客户*的原则，从客户的实际需求出发，铂悦仪器为每一位客户量身订制Z适合的综合解决方案，并提供持续而良好的售后服务，由此也获得了广大客户的信任与认可。
铂悦仪器的总公司设立在上海，并在北京、广州、成都、香港、加拿大设立了办事处，在能及时引进*进技术的同时，保证了铂悦仪器能快速、有效的为全国各地的客户提供良好的服务。
企业文化： CREDIT
C- Confidence: 自信
R- Responsibility: 责任心
E- Efficiency: 效率
D-Diligence: 勤奋
I- Intelligence: 机智
T- Trust: 信任
详细信息
基于Optilever激光扫描技术。
使用应力控制，避免薄膜分层，形成凹凸状。
光学设计减少图形衬底对激光的干涉。 在TSV, 半导体以及LED工艺上控制基底弯度。
在平板显示行业，控制玻璃的平整度
LED行业中, 可分析蓝宝石或碳化硅裸片的BOW/ WARP, 以及LED制程中不同薄膜造成的应力
在20米曲率的标准片上，重复性少于0.01公差。
双波长激光设计, 如某一波长激光在样本反射度不足，系统会自动使用另一波长激光进行扫瞄，满足不同材料的应用
全自动平台，可以进行2D及3D扫瞄
相同产品中提供数据点：每英寸可测1000点，平均每晶圆超过32线。
提供3D应力分布图。
拥有三维应力分布图和大量的数据点使用户能够检测局部的应力变化。
500 及 900°C高温或-50°C低温型号可选
热解析光谱分析可选。
样品台可通用于2至8寸基底, 另备有可容纳450mm直径或370 X 470mm样本的型号
多种型号以供选择:
手动上下片)
自动上下片(Cassette to cassette, C2C)
可添加并整合于多腔式集束型架构设备(cluster tool)
