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起订量：
FSM 413 红外干涉测量设备
- 型号
- FSM 413
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铂悦仪器自2004年成立以来，凭借与世界各大仪器的战略合作关系，以及不断优化公司自身经营管理，提高服务质量，成为中国国内的仪器供应商。铂悦仪器所提供的产品均属于高科技行业，产品包括高精度的分析仪器、检测仪器和生产设备，以及配套的耗材和配件，这些产品广泛应用于半导体、工业、太阳能、医药、医疗器械、生物、能源、电子、石化等各个领域并服务于各大院校、研究所、检测机构、及政府部门等。
铂悦仪器不仅拥有高品质的产品，更培养了专业的销售、技术和售后服务团队，本着客户*的原则，从客户的实际需求出发，铂悦仪器为每一位客户量身订制Z适合的综合解决方案，并提供持续而良好的售后服务，由此也获得了广大客户的信任与认可。
铂悦仪器的总公司设立在上海，并在北京、广州、成都、香港、加拿大设立了办事处，在能及时引进*进技术的同时，保证了铂悦仪器能快速、有效的为全国各地的客户提供良好的服务。
企业文化： CREDIT
C- Confidence: 自信
R- Responsibility: 责任心
E- Efficiency: 效率
D-Diligence: 勤奋
I- Intelligence: 机智
T- Trust: 信任
详细信息
红外干涉测量设备适用于可让红外线通过的材料
硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………
衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)
平整度
厚度变化 (TTV)
沟槽深度
过孔尺寸、深度、侧壁角度
粗糙度
薄膜厚度
环氧树脂厚度
衬底翘曲度
晶圆凸点高度(bump height)
MEMS 薄膜测量
TSV 深度、侧壁角度...
测量方式: 红外干涉(非接触式)
样本尺寸: 50、75、100、200、300 mm
测量厚度: 30 — 780 μm (单探头)
3 mm (双探头总厚度测量)
扫瞄方式: 半自动及全自动型号,
另2D/3D扫瞄(Mapping)可选
衬底厚度测量: TTV、平均值、小值、大值、公差...
粗糙度: 20 — 1000? (RMS)
重复性: 0.1 μm (1 sigma)单探头*
0.8 μm (1 sigma)双探头*
分辨率: 10 nm
设备尺寸:
413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)
413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H)
重量: 500 lbs
电源 : 110V/220VAC 真空: 100 mm Hg
*样本表面光滑（一般粗糙度小于0.1μm RMS)
** 150μm厚硅片（没图案、双面抛光并没有掺杂）
