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直线式劳埃透镜镀制机
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北京中科科美科技股份有限公司是直属企业北京中科科仪股份有限公司的控股子公司，是专门从事真空系统集成产品设计、制造、销售和服务的国家，为客户提供真空系统整体解决方案和一站式服务，包括真空集成系统的总体设计、工程实施、设备安装、技术服务等。公司主营业务分为空间环境模拟装置、充气回收检漏系统、新能源真空应用系统和大科学工程真空配套四大类别。公司的客户行业涉及航空航天、新能源（太阳能和核能）、新兴装备制造、科研院所、大科学工程、工业镀膜、汽车制造、电子、低温、超导、电气检测等多个领域。公司拥有*的装备制造实力，通过了ISO质量管理体系和中核供应商体系认证，拥有3项发明及三十余项实用新型，曾参与：神光Ⅲ、北京高能同步辐射光源、特高压苏通GIL综合管廊工程、江门中微子探测等国家大科学工程项目的实施，在真空领域具有国内的技术实力。中科科美致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商，实现与客户的共同成长！
详细信息
直线式劳埃透镜镀制机，是为高能同步辐射光源（HEPS）研发的仪器装备，用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多（数千层甚至更多）且膜层位置和厚度精度高（总位置平均误差小于±5nm，每层的厚度误差小于0.1nm）。为了保证每个膜层的厚度精度，采用磁控溅射技术来实现膜片的制备，其优点是，能够精确控制膜层厚度，重复性好，薄膜与基片结合紧密，薄膜纯度高、致密性好。
性能参数：
进样室
本底极限真空度<8×10-5Pa
腔室漏率<1×10-7Pa.L/s
基板加热温度≥500℃
沉积室
极限真空度：<8×10-6Pa
腔室漏率<1×10-8Pa.L/s
靶位个数≥9个
靶与样品间距离60~100mm手动可调
单个电源可切换的靶位个数≥4个
基板加热温度≥200℃
运动系统速率稳定性≤0.1% /300mm
运动系统直线度≤30μm/300mm
检测室
极限真空度：<8×10-6Pa
腔室漏率<1×10-8Pa.L/s
