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显示器面板行业—ITO/金属电极研发中试线
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北京中科科美科技股份有限公司是直属企业北京中科科仪股份有限公司的控股子公司，是专门从事真空系统集成产品设计、制造、销售和服务的国家，为客户提供真空系统整体解决方案和一站式服务，包括真空集成系统的总体设计、工程实施、设备安装、技术服务等。公司主营业务分为空间环境模拟装置、充气回收检漏系统、新能源真空应用系统和大科学工程真空配套四大类别。公司的客户行业涉及航空航天、新能源（太阳能和核能）、新兴装备制造、科研院所、大科学工程、工业镀膜、汽车制造、电子、低温、超导、电气检测等多个领域。公司拥有*的装备制造实力，通过了ISO质量管理体系和中核供应商体系认证，拥有3项发明及三十余项实用新型，曾参与：神光Ⅲ、北京高能同步辐射光源、特高压苏通GIL综合管廊工程、江门中微子探测等国家大科学工程项目的实施，在真空领域具有国内的技术实力。中科科美致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商，实现与客户的共同成长！
详细信息
一、应用领域：
该设备为高真空ITO箱式镀膜设备，主要用于沉积AZO、GZO等系列透明导电膜，金属薄膜，半导体薄膜等，也可用于其他功能性薄膜的沉积。
1. 系统可实现ITO、AZO、GZO等系列透明导电膜的研究与工艺探索；
2. 可以完成单金属、合金、多层膜的溅射沉积；
3. 可以完成氧化物、氮化物、碳化物等介质膜的反应溅射沉积；
4. 可以实现SiO2、Al2O3等绝缘材料的溅射沉积；
5. 可以进行含有上述多层膜的功能膜研究开发；
二、性能参数：
1、双腔室结构（含工艺腔室及进出样室）；
2、溅射样品尺寸约450×250mm；
3、磁控溅射靶四支，其中两支为孪生靶，控制电源为两套直流电源和一套中频电源；
4、配三路气体及相应流量控制器；
5、配备轴向线性往复运动样品台；
6、在线膜厚检测装置；
7、加热及温控系统，保证腔室能够加热至500℃；
