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MPO专用遮光膜镀膜设备
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北京中科科美科技股份有限公司是直属企业北京中科科仪股份有限公司的控股子公司，是专门从事真空系统集成产品设计、制造、销售和服务的国家，为客户提供真空系统整体解决方案和一站式服务，包括真空集成系统的总体设计、工程实施、设备安装、技术服务等。公司主营业务分为空间环境模拟装置、充气回收检漏系统、新能源真空应用系统和大科学工程真空配套四大类别。公司的客户行业涉及航空航天、新能源（太阳能和核能）、新兴装备制造、科研院所、大科学工程、工业镀膜、汽车制造、电子、低温、超导、电气检测等多个领域。公司拥有*的装备制造实力，通过了ISO质量管理体系和中核供应商体系认证，拥有3项发明及三十余项实用新型，曾参与：神光Ⅲ、北京高能同步辐射光源、特高压苏通GIL综合管廊工程、江门中微子探测等国家大科学工程项目的实施，在真空领域具有国内的技术实力。中科科美致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商，实现与客户的共同成长！
详细信息
该设备为高真空电子束蒸镀设备，即利用高能量密度的电子束轰击被镀材料，使其气化并沉积在基片表面；此设备为在石英或其它材料表面沉积镍铬合金或其它单金属、合金；设备由立式前开门水冷真空室、真空系统、工装系统、电子束沉积系统、离子轰击系统、加热系统、测量及监控系统、电控系统、辅助系统（机架、工艺气路、压空气路、冷却水路、附件）等组成。
性能参数：
1）沉积材料：CrNi合金（Cr80Ni20）；
2）膜厚仪：分辨率0.01埃；
3）具备辉光放电功能：电压3KV，功率600W，320mA，工作压力2.0x10-2mbar；
4）膜层均匀性：±5%；
5）极限真空：8.0x10-5pa；
6）本底真空：5x10-4Pa，到达时间：≤30min ；
7）设备内腔尺寸：Φ800x1000；
8）电子枪：Φ50X25，10KW，270°偏转；电子枪带灭弧和可编程扫描功能；
9）工件转架：工件可实现公自转，双层摆放沉积不同表面，微孔内沉积深度由工件摆放角度决定；公转速度：1-10rpm；
10）加热温度：max300℃，工作200℃；均匀性±2℃；
11）控制系统：PC+PLC，可自动、手动控制方式转换，多种互锁保护，具备多种参数显示功能及工艺菜单储存能力；
