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D04861000 AIGX-D-DN16CF 有源离子真空计

型号
D04861000

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上海赫哲真空设备有限公司成立于2011年,是一家以Edwards真空泵代理销售、维修及真空系统集成定制为主的企业。 上海赫哲真空设备有限公司是Edwards真空泵真空热处理行业代理商,主要销售Edwards品牌旗下的真空泵、真空泵油、真空阀门、真空测量仪表、氦质谱检漏仪、真空泵配件、真空泵维修包等,并提供Edwards真空泵维修保养服务。 赫哲真空(Hertzian Vacuum)赫哲多名从业10余年以上工程师和的售后团队。赫哲真空在上海设有维修工厂,为客户24小时提供所有销售产品的支持及售后服务,公司干式真空泵、油式旋片真空泵、无油旋片真空泵,滑阀式真空泵,活塞式真空泵,爪式真空泵、多级罗茨真空泵,干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、涡旋真空泵等真空泵类型的维修保养、各类治具和必要的部品,能应客户要求,对客户工厂设置的真空机器、设备提供定期维修保养服务。赫哲真空团队可为不同需求客户设计、定制真空系统(厂务真空系统),安装、调试服务。目前赫哲真空定制的真空系统用于电子半导体、太阳能光伏、生物制药、食品业、印刷业、汽车、自动化工程等行业。

详细信息

概述

紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar(5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。
得益于极低的带电微粒辐射,AIGX 成为不能有背景噪声的制程的佳选择。

功能和优势

  • 的 8 decade 测量功能,可达 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
  • 有两种款型可用,每一种又有三种真空联轴器变型:
    • “D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口;
    • “S”型具有增强的功能,与 Edwards 的控制器兼容。
  • 与主要竞争对手相比,带电粒子制程污染减少了 30%。
  • 自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。
  • 在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定,从而可以在更高压力下保持输出精度。
  • 在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。
  • 性设计消除了 X 射线限制的影响。
  • 双色 LED 提供真空计状态的本地指示。
  • 输入电压范围宽。
  • 电子器件极易拆卸以进行高达 200 °C 的加热。
  • “S”型提供有无缝的自动发射电流切换,延长了灯丝寿命。
  • “S”型提供有诊断输出,指示“发射关闭”、“灯丝烧坏”和“过压跳闸”,以帮助进行故障排除。
  • “S”型提供有一个可以用按钮调整的设定点。

数据

压力范围 6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar

(5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr)
电源供给 +14.5 至 +30.0 V 直流
功耗 正常工作:7W(大),

脱气:14W(大)
输出信号 线性,1 V / decade
响应时间 1.33 x 10-8 mbar

(>10-8 Torr) ˜ 100 ms

1.33 x 10-8 mbar

(<10-8 Torr) ˜ 1-2 s
大电压 30 V(直流)
大电流 100 mA(大)
工作环境 干燥的非导电性大气
温度范围
工作温度 0 至 +40 °C
存储温度 -30 至 +70 °C
 
有关更多信息,请与 Edwards 联系。

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