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D14711000 WRG-SL-NW25 WRG 有源宽量程真空计

型号
D14711000

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上海赫哲真空设备有限公司成立于2011年,是一家以Edwards真空泵代理销售、维修及真空系统集成定制为主的企业。 上海赫哲真空设备有限公司是Edwards真空泵真空热处理行业代理商,主要销售Edwards品牌旗下的真空泵、真空泵油、真空阀门、真空测量仪表、氦质谱检漏仪、真空泵配件、真空泵维修包等,并提供Edwards真空泵维修保养服务。 赫哲真空(Hertzian Vacuum)赫哲多名从业10余年以上工程师和的售后团队。赫哲真空在上海设有维修工厂,为客户24小时提供所有销售产品的支持及售后服务,公司干式真空泵、油式旋片真空泵、无油旋片真空泵,滑阀式真空泵,活塞式真空泵,爪式真空泵、多级罗茨真空泵,干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、涡旋真空泵等真空泵类型的维修保养、各类治具和必要的部品,能应客户要求,对客户工厂设置的真空机器、设备提供定期维修保养服务。赫哲真空团队可为不同需求客户设计、定制真空系统(厂务真空系统),安装、调试服务。目前赫哲真空定制的真空系统用于电子半导体、太阳能光伏、生物制药、食品业、印刷业、汽车、自动化工程等行业。

详细信息

概述

宽量程真空计 (WRG) 系列在从大气压到 10-9 mbar 的压力下提供单接口压力测量结果,并且提供线性输出。它是紧凑型的解决方案,所需空间和连接硬件均减少了一半,这对很多应用来说是重要的优势。WRG 具有很多新颖的特点,包括新的放电器、按钮校准、设定点控制和的诊断功能。WRG 是高效的真空管理解决方案,可以与 Edwards 控制器一起使用,也可以直接集成到系统控制中。

应用

  • 任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。具有 AGD 的 WRG 代表一种用于实现此目标的简单和极为高效的手段。
     
  • 对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言,线性输出和平衡使 WRG 成为一种富有吸引力的选择。
  • WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用中使用。但是,如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间多,Edwards 建议采用独立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计,因为这样将提高真空计在应用中的性。

功能和优势

  • 微处理器信号处理允许在皮拉尼和磁控管输出以及线性输出之间无缝转换(记录压力刻度)
  • 自动为皮拉尼真空计元件进行真空设置
  • 单一按钮大气设置
  • 可轻松编程的设定点涵盖整个测量范围
  • 磁控管使用的进行高度的放电,即使在高真空或相对污染的环境下也无妨
  • 通过降低点火后的 HT 电压以及采用低放电电流,延长了维修间隔和真空计寿命
  • 结构极为紧凑,采用凹进式电气接头
  • 易于维修;皮拉尼和磁控管元件均可以单独更换
  • 综合性故障模式诊断装置
  • D 型包括电缆应变消除和增强的灰尘防护 (IP44)

数据

压力范围 大气压至 10-9 mbar/Torr
准确度 通常为 ±15% <100 mbar 以及 ±30%<10-3 mbar
大过压 6 bar (87 psia)
电源供给 +14.5 至 +36 V 直流
功耗 2 W(大)
输出信号 1.8 至 10.2 V 直流
调节 大气压和设定点
设定点 开路集电极晶体管
大电压 40 V 直流
电流 100 mA 大
温度范围
工作 +5 至 +60 oC
存储 0 至 +70 oC
暴露于真空中的材料(NW 和 CF 型) 不锈钢(AISI 304、316、321、347)、氟橡胶、钠钙玻璃、钨、微量镍和镍铁
内部体积 26 cm3
重量 0.8 kg
外部接口连接器 8 路 FCC68/RJ45 插座
接口电缆 有源真空计电缆的使用范围
标准
电磁兼容性 EN 61326 工业地点,B 类排放
机箱等级 IP40
针脚分配
1.电源供给正极 5.信号共用
2.电源供给共用 6.设定点输出
3.压力表输出 7.大气压校准
4.压力表标识 8.未连接

准确度在测量范围极限处会降低。
图中未显示

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