inficon大气压至超高真空真空计
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert
和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-
10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。 多项技术相结合降低了
安装、设置和集成的复杂性。 为负担不重且可重复的过程选择带有双氧
化钇铱丝的 BPG402-S ，以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元
件带有板载校准数据，保证更换传感器时的高再现性。
优点
. 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
. 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
. 皮拉尼联锁保护丝极， 防止过早烧毁
. 双长使用寿命氧化钇铱丝
. 备有可选的图形显示器和现场总线接口
. 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
. 传感元件带有板载校准数据 ，易于更换， 可保证高再现性
. 符合 RoHS 标准
订购信息
BPG402 Spare measurement system DN40CF-R
BPG402 感应器
BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
BPG402-S 真空计
BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
BPG402-SD 型真空计
BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
BPG402-SE BPG402-SL BPG402-SP BPG402-SP | ECAT, DN 40 CF-R BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
354-495
354-494
353-570
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规格
类型 | BPG402-S | |
测量范围（空 气、O₂ 、CO、 N₂ ) | mbar | 5×10⁻¹⁰ … 1000 |
测量范围（空 气、O₂ 、CO、 N₂ ) | Torr | 3.8×10⁻¹⁰ … 750 |
精度 10⁻⁸ … 10⁻² 毫巴 |
% of reading |
±15 |
可重复性 10⁻⁸ … 10⁻² 毫巴 |
% of reading |
5 |
除气 (1) p < 7.2 × 10⁻⁶ |
mbar |
electron bombardment, max. 3 min |
压力，最大 | bar (absolute) | 2 |
温度运行（环境） | °C | 0 … +50 |
贮存 | °C | -20 … +70 |
在法兰处烘烤 ，无电子设备 BPG402-S | °C | 80 |
无电子设备，在法兰处烘烤 BPG402-SL | °C | 150 |
电源电压 | V (dc) | +20 … +28 |
电源电压 | A (dc) | ≤0.8 |
类型
输出信号模拟 | V | 0 … +10 |
测量范围 | V | +0.774 … +10 |
错误信号 | V | 0.1 / 0.3 / 0.5 |
输出信号模拟 电压与压强 |
volts per decade |
0.75 |
输出信号模拟 最小负载电阻 |
kΩ |
10 |
设定点继电器 设定点数量 |
1 | |
继电器触点 | n.o., potential free | |
设定点继电器 范围 |
mbar |
1×10⁻⁹ … 100 |
设定点继电器 滞后 |
% of reading |
10 |
设定点继电器 触点额定值 |
V (dc) |
≤30 |
设定点继电器 触点额定值 |
A (dc) |
≤0.5 |
数字功能 | degas | |
接口（数字）(2) | RS232C | |
发射控制 | automatic / manual via interface | |
单丝 | two Yt₂O₃ coated Ir | |
单丝状态/继电器 | LED / relay | |
电气连接 | D-Sub, 15-pin, male | |
电缆长度，最大 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
保护等级 | IP30 | |
Profibus DP 波特率 |
kBaud |
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
Profibus DP 波特率 |
Mbaud |
1.5 / 12 |
BPG402-S
类型
Profibus DP 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable |
数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warn |
模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B |
设定点继电器： 设定点数量 | 2 |
设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free |
Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female |
CDG（模拟输出、 电源电 压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male |
Profibus DP 设定点继电器： 范围 mbar |
1×10⁻⁹ … 100 |
Profibus DP 设定点继电器： 滞后 % of reading |
10 |
Profibus DP 设定点继电器： 触点额定值 V (dc) |
≤30 |
Profibus DP 设定点继电器： 触点额定值 A (dc) |
≤0.5 |
DeviceNet™ 协议 |
DeviceNet™, group 2 slave only |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable |
数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa ; emission control, degas function , monitor gauge status, filament status , safe state allows definition of behavior in case of error , detailed alarm and |
模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication , two setpoint relays A + B |
技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" |
设备类型 | ''CG'' for combination gauge |
I / O 从属传讯 | polling only |
设定点继电器： 设定点数量 | 2 |
设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free |
BPG402-S
类型
DeviceNet™ 连接器
BPG（模拟输出、 电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |||
DeviceNet™ 数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable | ||
DeviceNet™ 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) | ||
电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) | ||
电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) | ||
DeviceNet™ 设定点继电器： 范围 | mbar | 1×10⁻⁹ … 100 | ||
DeviceNet™ 设定点继电器： 滞后 |
% of reading |
10 | ||
DeviceNet™ 设定点继电器： 触点额定值 |
V (dc) |
≤30 | ||
DeviceNet™ 电源电压 | V (dc) | +11 … +25 | ||
真空计电源电压 | V (dc) | +20 … +28 | ||
DeviceNet™ 设定点继电器： 触点额定值 |
A (dc) |
≤0.5 | ||
DeviceNet™ 电源电压 | A (dc) | ≤0.5 | ||
真空计电源电压 | A (dc) | ≤0.8 | ||
以太网 以太网协议 | protocol specialized for EtherCAT | |||
通讯标准 | ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge | |||
节点地址 | Explicit Device Identification | |||
物理层 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |||
以太网数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning | |||
过程数据 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |||
邮箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | |||
以太网连接件 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |||
BPG402-S
Microstyle, 5-pin