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四靶磁控溅射镀膜机
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苏州中科科美科技有限公司（简称苏州科美），是北京中科科美科技股份有限公司全资子公司，系所属企业，传承科学仪器研制中心60多年的真空装备制造经验，是一家集设备研发、设计、制造、销售服务于一体的。
为响应中科科仪集团投资建设苏州仪器装备产业园、推进中科院装备关键核心研制技术开发、加速科学仪器装备与核心零部件创新成果产业化的战略部署，苏州科美落户苏州科技城，重点发展以检漏技术为核心的检漏工程业务，实现规模化发展。充分发挥本地化优势，开发华东、华中、华南真空应用市场，加速推进真空装备产业化进程。
苏州中科科美致力于为用户提供量身定制真空系统解决方案及技术咨询服务，产品包含真空氦检漏系统、超高真空排气台、空间模拟设备、真空存储柜、真空炉、真空充油机等各类非标定制设备。产品广泛应用于汽车制造、电力系统、半导体、科研系统等众多领域。
公司以客户为中心，建立了完善的质量体系，全面实施精益化管理，以优秀的产品和服务，为客户创造价值。科美公司致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商，实现与客户的共同成长！
详细信息
应用领域
该设备用于通过磁控溅射法沉积非金属薄膜与金属薄膜，用户可以根据工艺的需要选择单靶独立工作、四靶轮流工作或四靶任意组合共溅等工作模式。
该设备由主腔室和预备室两个真空室组成。主腔室用于镀制薄膜，完成用户主要镀膜工艺过程。
预备室通过高真空插板阀与主腔室相连，可以用于镀膜前基片与镀膜后薄膜的等离子清洗，并可以在不破坏主腔室真空的条件下更换基片。
设备描述
镀膜室：
1. 有效尺寸约￠550×500，极限真空：5×10-5Pa；
2.腔体具有自加热烘烤除气功能；
4.基片尺寸“4吋。可实现旋转、升降；
5. 加热温度600℃，控温精度±1度；
预备室：
1. 有效尺寸约￠300×350；极限真空：5×10-4Pa；
2. 腔体具有自加热烘烤除气功能；
3. 对基片射频溅射清洗功能；
4. 配置基片库，可一次装卡4片基片；
