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热蒸发、电子枪、磁控溅射镀膜机

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苏州中科科美科技有限公司

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高压直流继电器排气台,氦气氟油加压检漏设备,超高压电力管路氦检漏

苏州中科科美科技有限公司(简称苏州科美),是北京中科科美科技股份有限公司全资子公司,系所属企业,传承科学仪器研制中心60多年的真空装备制造经验,是一家集设备研发、设计、制造、销售服务于一体的

为响应中科科仪集团投资建设苏州仪器装备产业园、推进中科院装备关键核心研制技术开发、加速科学仪器装备与核心零部件创新成果产业化的战略部署,苏州科美落户苏州科技城,重点发展以检漏技术为核心的检漏工程业务,实现规模化发展。充分发挥本地化优势,开发华东、华中、华南真空应用市场,加速推进真空装备产业化进程。

苏州中科科美致力于为用户提供量身定制真空系统解决方案及技术咨询服务,产品包含真空氦检漏系统、超高真空排气台、空间模拟设备、真空存储柜、真空炉、真空充油机等各类非标定制设备。产品广泛应用于汽车制造、电力系统、半导体、科研系统等众多领域。

公司以客户为中心,建立了完善的质量体系,全面实施精益化管理,以优秀的产品和服务,为客户创造价值。科美公司致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商,实现与客户的共同成长!


详细信息

产品描述

具有热蒸发和电子枪蒸发镀膜功能,同时还具有磁控溅射镀膜功能。一台设备具有多种功能。

该设备主要配备左热蒸发室、右电子枪室、磁控溅射室等。其中左热蒸发室用于各种金属、有机物的真空镀膜(难熔金属除外);电子枪室用于难熔金属、非金属材料以及高纯度薄膜的真空蒸镀;磁控溅射室用于制备可以做成靶材的金属,金属氧化物、碳化物、合金等的薄膜。


技术参数

1.极限真空压力:8×10-5 Pa

2.磁控靶直径(mm):50

3.恢复真空抽气时间(min):<20

4.左热蒸发室:Φ500×400

5.右电子枪、磁控溅射室:Φ500×500,手动气弹簧上开盖

6.坩埚容积:40ml


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