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生产厂家苏州中科科美科技有限公司(简称苏州科美),是北京中科科美科技股份有限公司全资子公司,系所属企业,传承科学仪器研制中心60多年的真空装备制造经验,是一家集设备研发、设计、制造、销售服务于一体的。
为响应中科科仪集团投资建设苏州仪器装备产业园、推进中科院装备关键核心研制技术开发、加速科学仪器装备与核心零部件创新成果产业化的战略部署,苏州科美落户苏州科技城,重点发展以检漏技术为核心的检漏工程业务,实现规模化发展。充分发挥本地化优势,开发华东、华中、华南真空应用市场,加速推进真空装备产业化进程。
苏州中科科美致力于为用户提供量身定制真空系统解决方案及技术咨询服务,产品包含真空氦检漏系统、超高真空排气台、空间模拟设备、真空存储柜、真空炉、真空充油机等各类非标定制设备。产品广泛应用于汽车制造、电力系统、半导体、科研系统等众多领域。
公司以客户为中心,建立了完善的质量体系,全面实施精益化管理,以优秀的产品和服务,为客户创造价值。科美公司致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商,实现与客户的共同成长!
产品描述
该设备采用的溅射方式,镀膜均匀、干净。样品温度受控,贵金属靶材利用率高。四靶均配有挡板,并配有驱动装置可手动打开。
样品架采用行星轮结构,可实现样品的定点自转和公转同时进行。样品可进行射频反溅,也可加偏压。
技术参数
1.腔室尺寸:Φ(600-800)×450(根据实际情况调整);
2.空载极限真空:3×10-4Pa
3.工作本底真空:8×10-5Pa;
4.样品架一次可承载3-40块80×13×0.5的样品;
5.溅射靶:采用长方形靶;
6.薄膜均匀性:±10%。