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英福康Transpector XPR3L 气体分析系统四极质谱仪
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是INFICON的代理商，同时代理经销德国Leybold（莱宝）、Atlas Copco（阿.科普柯）、Varian/Agilent（瓦里安/安捷伦）、瑞士Vogtlin（福特林）等品牌产品。我们致力于*真空技术的推广、应用，从中低真空、高真空、到超高真空，我们可以根据客户的要求推荐*合适的真空产品，提供*上等的真空解决方案，为广大用户改进生产工艺，提升竞争力提供产品服务和技术支持。同时为满足更广大的客户要求，我们拓展了工业流量控制的产品服务，根据客户的工艺要求提供*优化的流量控制解决方案。 目前，公司主要提供的业务有：一、代理品牌的产品销售，及技术支持服务。二、为客户提供上等的真空解决方案，包括：真空非标系统设计、真空检漏技术方案、真空设备维修服务；三、流量控制解决方案：气体、液体、特殊物质流量控制方案； 我们的业务覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、空调制冷、 科研、航天、LNG、汽车制造、医疗化工等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓**”的精神，不断提升专业技能、完善运营细节，兢兢业业、勤勤恳恳，旨在为广大用户提 供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。 我们的理念是“完善自我，携手用户，精诚合作，共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任，以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标，期待更多新老朋友来电来函咨询业务，洽谈合作！
详细信息
Transpector XPR3L 气体分析系统
通过监测气体压力、检测污染和查找泄漏，优化太阳能电池和 LCD 过程良率
用于监控过程气体和基本真空条件的工具是 Transpector ® XPR3L 气体分析系统提供的经济高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染，提高预防性维护程序的有效性和效率。
功能
- 通过运行高达 10mTorr（可选 20mTorr）的 UHV，提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证
- 经济高效的过程监控器，可用于可扩展的生产设计
- 通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质，提高过程良率，减少碎片，提高产品质量
- 通过以高灵敏度和*小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染，加快 PM 恢复，提高生产力
- 可在 1 - 100 amu 质量范围内运行，能够检测各种材料、污染或副产品，确保您的投资安全，降低投资风险
- 与 FabGuard 监控和分析系统相兼容，提供可靠、的诊断和过程控制
典型应用
- 太阳能/光伏设备制造
- LCD 制造
- PVD 过程监控
- 监控过程气体压力和气体比率
- 暴露和鉴别污染
- 检测和查找泄漏（空气、氦气、水及其他蒸汽）
- PM 恢复/故障排除和验证基本真空
