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Transpector XPR3 英福康Transpector XPR3 气体分析系统,高压强型四极质谱仪

型号
Transpector XPR3

该企业相似产品

是INFICON的代理商,同时代理经销德国Leybold(莱宝)、Atlas Copco(阿.科普柯)、Varian/Agilent(瓦里安/安捷伦)、瑞士Vogtlin(福特林)等品牌产品。我们致力于*真空技术的推广、应用,从中低真空、高真空、到超高真空,我们可以根据客户的要求推荐*合适的真空产品,提供*上等的真空解决方案,为广大用户改进生产工艺,提升竞争力提供产品服务和技术支持。同时为满足更广大的客户要求,我们拓展了工业流量控制的产品服务,根据客户的工艺要求提供*优化的流量控制解决方案。 目前,公司主要提供的业务有:一、代理品牌的产品销售,及技术支持服务。二、为客户提供上等的真空解决方案,包括:真空非标系统设计、真空检漏技术方案、真空设备维修服务;三、流量控制解决方案:气体、液体、特殊物质流量控制方案; 我们的业务覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、空调制冷、 科研、航天、LNG、汽车制造、医疗化工等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓**”的精神,不断提升专业技能、完善运营细节,兢兢业业、勤勤恳恳,旨在为广大用户提 供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。 我们的理念是“完善自我,携手用户,精诚合作,共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任,以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标,期待更多新老朋友来电来函咨询业务,洽谈合作!

详细信息

Transpector XPR3 气体分析系统

 

无需复杂压力转换的 PVD 过程监控


Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题,从而*大化吞吐量和产量,也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划,从而延长工具运行时间。

Transpector XPR3 是新一代气体分析系统,可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验,具有****的灵敏度、准确性和灵活性,可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破,无需大型、复杂的压力转换设备,即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。



功能

  • 经过重新设计的离子源*大限度减少污染积存,可延长使用寿命,提供更纯净的信号。
  • 新 EM 在 PVD 过程压力下工作,可实现更快速、更纯净的数据收集,消除 FC 向 EM 过度的必要,更便于数据分析。
  • 更长的新型四极杆提高了低质量范围下的滤波性能,增强了丰度灵敏度,从而提高了氢气检测灵敏度。

典型应用

  • PVD 过程模块
  • 预清洗模块
  • 非群集 PVD 工具
  • 夹钳式除气模块


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