Transpector CPM 紧凑型过程监控器
经济型综合气体分析
INFICON Transpector® CPM 通过以下功能提供 现场 预警并降低成本:
- 测量气相反应
- 验证真空完整性
- 鉴定痕迹量级污染物
- 测量过程和本底成分
- 检测气体纯度
INFICON CPM 紧凑型过程监控器是一款功能**、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪,适用于现场监控复杂的过程。这种干泵系统使用 INFICON Transpector 2 气体分析系统的成熟技术,帮助您达到新的性能水平。
功能
- 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。
- 支持 24/7 全天候监控,可*大限度地提高产量和吞吐量,从而大幅降低成本。
- 小巧灵活、经济实惠,适合安装到任何高压真空室。
- HexBlock™ 采样系统提高性能。
- 内置 CDG,支持过程压力监控和真空联锁。
- 可选校准基准(用于调节)和气体基准。
- 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染,同时耐*强的腐蚀性和活性气体。
- 轻便,易携带。