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HP-200 HP-200 柜式热板

型号
HP-200

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无线电综合测试仪
上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士,拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。

详细信息

产品功能

数字温度控制及实时温度显示

重复工艺的快速启动

自动温度限幅开关,避免过热

加热工艺可编程多段式,每个工艺可设置 20 段

电动升降式载片顶针

配备安全玻璃,也方便清洁

热板快速调平,避免光刻胶流动

用户操作的工艺参数配置界面以及触摸屏

基片通过真空吸附固定

手动上下片


性能参数

均匀加热区域:200mm × 200mm

温度范围:室温到 250℃

温度均匀性:100℃ 时温差范围 +/- 0.6℃

电动驱动顶针的升降


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产品参数

规格类型

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