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TTS-4000 EFEM(4工位EFEM)
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经销商新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)隶属*,是一家以机器人技术为核心,致力于全智能产品及服务的高科技上市企业,是中国机器人产业*名的核心牵头企业,也是机器人产品全的厂商,国家机器人产业化基地。新松公司成立于2000年,本部位于沈阳,在上海设有总部、在北京设有投资总部,在沈阳、上海、杭州、青岛建有产业园区,现已在全国六大区域构建了立体化的研发及服务网络。同时,积极布局市场,在中国香港、新加坡等区域设立子公司。公司现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的完整全产业价值链。目前,公司总市值位居同位,成长性机器人行业罕见!
作为中国机器人产业的翘楚和工业4.0的践行者与推动者,成功研制了具有*自主知识产权的工业机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人四大系列百类产品,面向智能装备、智能物流、智能工厂、智能交通,形成八大产业方向,致力于打造数字化物联新模式。为3000余家跨国企业提供产业升级服务,已累计出口32个国家和地区,与一带一路17个国家和地区有深切合作。其中,移动机器人综合竞争实力突出;洁净(真空)机器人打破*封锁,*中国在该领域的空白;工业机器人在*领域批量应用;服务机器人业已销往海内外。
新时代、新业态。新松未来将本着大产业、大平台发展战略,打造集创新链、产业链、金融链、人才链与一体的生态体系。助推智能产业裂变式发展,担当保障民族实业崛起之重任,惠享智时代!
新松一直致力于提供半导体晶圆加工和其他复杂的制造环境所需的高性能、超洁净和久经考验的可靠性。该四工位EFEM是集成大气机器人,预对准机以及缓存工位等部件的综合性产品,可以给客户提供晶圆传送的一体化方案。产品具有很强的适应性,以满足特定的应用需求。推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。满足半导体制造商的期望和要求。
参数:
项 目 | Input信息 | |
Wafer规格 | 材质尺寸 | 300mm wafer |
Alignment Mark | Notch | |
厚度 | 标准wafer | |
温度 | ≤200℃ | |
与传送片接触处的材质 | 陶瓷 | |
片盒规格(类型、厂家、段数、段间距等) | Foup | |
AMHS(自动物料搬送系统)要求 | OHT | |
搬送精度(Alignment精度) | ±0.1mm | |
Particle Spec | ISO Class 1 | |
Throughput | >100wfrs/h | |
Stage数(LP数) | 4 | |
Load Lock | Stage数(LL) | 4 |
位置(XYZ) | 四个LL | |
Wafer放置精度 X-Y | ±0.1mm | |
Wafer放置角度精度 | / | |
整机规格 | 参照尺寸说明 | |
Foot Print | W | ≤2575 |
D | ≤750 | |
H | ≤2500 | |
重量 | ≤1600KG | |
整机设计参照标准 | SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400 | |
软件界面设计参考标准 | SEMI E30, E84 |