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IoN 40 德国 PVA TePla 等离子清洗机

型号

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司,经过十多年的紫外光专业技术沉淀,可以根据客户特殊要求提供定制化服务,研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机),准分子清洗机,等离子清洗机/去胶机等科研以及生产设备,拥有自主品牌及注册商标。 同时我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化,为广大中国及海外客户提供的仪器设备和材料的整体解决方案。 应用领域: 半导体/微纳,光电/光学, 生命科学/生物医疗等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等。 半导体/微纳,光电/光学 产品主要有: 德国ParcanNano(Nano analytik)针尖光刻机,电子束光刻机, 激光直写光刻机,紫外光刻机,微纳3D打印机,德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积,英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机,微波离子沉积机MPCVD,芬兰Picosun原子层沉积机,电子显微镜, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪,美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯,美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管,德国Diener等离子清洗机等*技术产品。 生命科学/生物医疗 产品主要有:PCR仪,核酸质谱仪/核酸检测仪,电子显微镜,紫外设备,光谱/色谱/质谱/波谱仪,生物芯片,试剂,实验耗材等。 并可依据客户需求,研发定制相关产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务,为高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等客户提供仪器设备和材料。

详细信息

德国 PVA TePla 等离子清洗机

型号:IoN 40等离子清洗机

*的功能特性:


● 灵活的电极设计保证了工艺的均匀性
● 使用Windows系统的工业计算机控制
● 触摸屏操作,图形用户界面(GUI)
● 菜单驱动式工艺过程
● 绘图和自诊断功能
● 以太网通讯功能
● 节能模式
● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
● 安装简单快捷

规格参数
工作腔室材料:铝
容积: 36.5 升
内部尺寸: 229 x 330 x 483 mm

可选电极


● 可抽卸的多层电极板
● 垂直电极
● 3层温控电极
● 低微粒电极
● 次级等离子体电极


工艺气体


质量流量控制计: 最多至6路气体
工艺压力: 200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间: 大约1分钟 (取决于真空泵)
放气:可调
射频发生器: 风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源:220V 单相,2.3 KW, 50Hz
工艺气体:输入压力 1-2 bar
吹扫气体:输入压力 1-2 bar
压缩空气: 输入压力 4-6 bar
尺寸: 宽/高/深 775 x 723 x 781 mm(不含泵)
重量: 约157千克(不含泵)


可选项


● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 300 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 单体处理装置
● 真空泵(油泵或干泵)
● 气相MFC

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