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IoN 100 WB德国 PVA TePla 等离子清洗机

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司,经过十多年的紫外光专业技术沉淀,可以根据客户特殊要求提供定制化服务,研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机),准分子清洗机,等离子清洗机/去胶机等科研以及生产设备,拥有自主品牌及注册商标。 同时我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化,为广大中国及海外客户提供的仪器设备和材料的整体解决方案。 应用领域: 半导体/微纳,光电/光学, 生命科学/生物医疗等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等。 半导体/微纳,光电/光学 产品主要有: 德国ParcanNano(Nano analytik)针尖光刻机,电子束光刻机, 激光直写光刻机,紫外光刻机,微纳3D打印机,德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积,英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机,微波离子沉积机MPCVD,芬兰Picosun原子层沉积机,电子显微镜, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪,美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯,美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管,德国Diener等离子清洗机等*技术产品。 生命科学/生物医疗 产品主要有:PCR仪,核酸质谱仪/核酸检测仪,电子显微镜,紫外设备,光谱/色谱/质谱/波谱仪,生物芯片,试剂,实验耗材等。 并可依据客户需求,研发定制相关产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务,为高等院校, 研究所,科技企业及医疗机构等客户提供仪器设备和材料。

详细信息

德国 PVA TePla 等离子清洗机
型号:IoN 100 WB等离子清洗机

IoN 100 WB是我们推出的具有高性价比的真空等离子清洗设备。它来源于IoN 100系列,IoN 100 WB延续了同样的高品质保障,包括可选压力控制器、光谱终点检测器以及各种不同的电极组构造。

IoN 100 WB旨在满足客户大批量生产的需求,着重于表面处理的多功能性和可控性。其*的性能提供了出色的工艺控制、失效报警系统和数据采集软件。这使得该设备可满足半导体、生命科学等领域严格的控制要求。IoN 100 WB结构紧凑,集成度高,采用射频(RF)频率激发等离子体。

IoN 100 WB的另一个之处是可以迅速快捷的更换不同类型的电极结构。

*的功能特性:


● 触摸屏操作,图形用户界面(GUI)

● 可配置的腔室可使用不同类型电极,适用于大批量处理或特殊的垂直悬挂处理

● 使用Windows系统的工业计算机控制

● 工艺员、操作元、维护员访问权限控制

● 自诊断功能和警报记录功能,联网在线诊断功能

● 以太网远程控制功能

● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能

● 安装简单快捷

规格参数


工作腔室材料 :铝(标配)
容积:107 升
内部尺寸 :375 x 375 x 762 mm(宽/高/深)


工艺气体


质量流量控制计:最多至6路气体
工艺压力 :200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间 :
大约1分钟 (取决于真空泵)


射频电源 :风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源:220V 单相, 50Hz
工艺气体 : 输入压力 1-2 bar
吹扫气体 :输入压力 1-2 bar
压缩空气 : 输入压力 4-6 bar

机体

● 独立的机体带有所有电源和气体接口
● 带有旋转垫脚的可转动机身

设备尺寸


标准尺寸 :1067 x 737 x 1245 mm(宽/高/深,不含泵)
重量 : 约239千克(不含泵)


可选项


● 不锈钢腔体

● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器

● 耐腐蚀性气体的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 液态单体操作装置
● 真空泵(油泵、干泵或罗茨泵组)
● 汽相MFC

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