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Bell Jar 35 研究型等离子清洗机
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司，经过十多年的紫外光专业技术沉淀，可以根据客户特殊要求提供定制化服务，研发设计组装：紫外臭氧清洗机（UV清洗机），准分子清洗机，等离子清洗机/去胶机等科研以及生产设备，拥有自主品牌及注册商标。 同时我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信的企业文化，为广大中国及海外客户提供的仪器设备和材料的整体解决方案。 应用领域: 半导体/微纳，光电/光学, 生命科学/生物医疗等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究所，科技企业及医疗机构等。 半导体/微纳，光电/光学 产品主要有： 德国ParcanNano（Nano analytik）针尖光刻机，电子束光刻机, 激光直写光刻机，紫外光刻机，微纳3D打印机，德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积，英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机，微波离子沉积机MPCVD，芬兰Picosun原子层沉积机，电子显微镜, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪，美国Sonix超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯，美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管，德国Diener等离子清洗机等*技术产品。 生命科学/生物医疗 产品主要有：PCR仪，核酸质谱仪/核酸检测仪，电子显微镜，紫外设备，光谱/色谱/质谱/波谱仪，生物芯片，试剂，实验耗材等。 并可依据客户需求，研发定制相关产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务，为高等院校, 研究所，科技企业及医疗机构等客户提供仪器设备和材料。
详细信息
Diener Bell Jar 35 研究型等离子清洗机
Bell Jar 35 等离子设备是一种研究设备，其专为科学试验所研发。该设备即适用于热蒸发，溅射 ，电子束蒸发，SEM（扫描电子显微镜）样品制备的金属涂层，也适用于传统的等离子体工艺。
基本设备
。外壳约宽560MMx高1640MMx深620mm
。腔室容积：约35升
。供电电源：230V/16A
气源
。3个质量流量控制器（MFCs）
真空腔室
。硼硅玻璃材质的玻璃罩，直径315MMx高500MM
溅射源
。1个溅射源2"-3"+挡板（可为反应过程选配排烟管和进气口）
基材支架
。直径140MM（可选择旋转型，基材加热器，基材冷却装置）
。可切换为等离子预处现的电极（清洗，活化，蚀刻）
控制系统
。PCCE控制系统（Microsoft Windows XPe）
压力测量
。Pirani
发生器
。频率：40KHz, 功率 0-500W
13.56MHz, 功率 0-300W
。直流偏置电源或单极性脉冲，功率300W，电压600V，直流电
。发生器为 0-99% 无级可调型
真空泵
。规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其它选项
备件套件，压力计，腐蚀性气体设计结构，气瓶，减压器，加热板，温度显示器，加热型腔室，Faraday Box, 等离子体聚合配件，试墨水，氧气发生器，慢速通风装置，慢速抽吸装置，TEM样品架法兰，维护/服务，当地语言的文件，现场安装，包括培训，可应需求提供的其它选项。
