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VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

型号

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天津市科器*有限公司是天津市*产业园区认证的,我公司拥有一支实力雄厚的科研队伍,主要从事*产品的研发和生产。我公司的代表性产品有: 1、769YP系列手动、DY系列电动及ZYP系列自动粉末压片机、DJY系列等静压机、ZDM系列振动磨、MJ系列模具及HW系列红外附件。 我公司专业生产压片机,是一家生产压片机的企业。我公司生产的压片机采用优质密封件及优质钢材,可以打到压力,压片机不掉压,不漏油,广泛应用于电池、超导、水泥、陶瓷、催化、硅酸盐、粉末冶金、海泥分析、生化分析以及新材料制样研发等行业。此外,本产品还可与钙铁、红外、X荧光等测试仪器配套制样使用,可替代同类进口产品。 2、YZS系列高效液相制备色谱仪 该系列仪器能方便快捷地分离制备出高纯度的物质,广泛应用于有机化学、药物化学、生物化学、环境化学、食品等领域。 3、KGZ系列镜向光泽度仪及涂料仪器 该系列仪器主要用于涂料、建材、纸张、油墨、陶瓷、塑料等平面制品的光泽度测量。 我公司立足于以人为本、客户至上、精益求精、追求的精神。我公司将以的商业信誉、的产品质量以及的技术服务与社会各界朋友携手前进,共创美好未来!

详细信息

VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪,基片尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材 和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,铝,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.

技术参数

输入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

输出功率

  • 1600VDC
  • 电流50mA

样品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

加热样品台

  • 一个外径50 mm 的样品台, 可以移动三个位置
  • 基片可以放在样品台上. 加热温度 500°C
  • PID控温方式和触摸屏面板,控温精度+/-1°C

控制面板

  • 控制面板为PLC6" 触摸屏
  • 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置 基片加热温度

可选

  • KF25 真空接口、卡箍,和600mm长不锈钢波纹管
  • 120L/M旋片式真空泵(包含在仪器内)
  • Vapor trap eliminates the oil mist
  • 不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接
  • 高纯度金箔靶
  • 需要一个带压力调节器的氩气瓶 (这个我们不提供)

进气口

一个针阀安装进气口,以实现更好的等离子涂层



靶材

标配靶材分别有

  • 金,银,铜 靶材:
  • 尺寸: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • 可选靶材点击链接、
    Pt , Ag target , Zinc tarhet

外形尺寸

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 净重:50KG

质保期

一年质保期,相关耗材除外,终身维护。

质量认证

Certified

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产品参数

规格类型

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