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GSL-1100X-SPC-16M 是一款紧凑型的磁控等离子溅射仪,采用双旋片机械泵进行抽真空。 一个磁控管与Peltier 冷却装置安装在机器的顶部,,这将提供强有力的溅射能源,产生更好和更快的涂层,特别适用于金属靶材,比如铝,锌和镁. 仪器中包含一个金靶和真空系统。
技术参数
工作电压 | 110V or 220V 50/60 Hz |
输出功率 | < 2000W (包含真空泵) |
输出电压 |
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样品室 | 石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height
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样品载物台 |
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可通入气体 | 通过针阀通入氩气,能实现更好的等离子涂层 |
靶材
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外形尺寸 | L360mm x W300mm x H380mm |
重量 | 50 kg |
质保期和质量认证 | 一年质保期,终身维护 CE Certified |