GSL-1100X-SPC16-3 3靶等离子溅射仪

电源电压

220V , 50/60 Hz

输出功率

• < 2000W (including pump)
• 离子电流表：电流：50mA 定时器：最长时间900s

输出电压(DC)

1600V

样品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

样品载物台

• 一个外径50 mm 的样品台, 可以移动三个位置
• 溅射面积: 45 mm

配件

• 120 L/m的双旋片式机械真空泵，进行抽真空
• 进气口处安装有储气球，防止泵油的回流，排气口安装有立式油污过滤器，可以过滤真空泵在工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，和保护环境，和人体健康
• 不锈钢波纹管与 KFD-25接口相连用
• 高纯度金箔靶
• 系统需要一个带压力调节器的氩气瓶，但我们不提供

可通入气体

• 多种 气压：-1600（-3000）DCV
• 微型真空气阀：可连接Φ3mm软管

靶材

标配靶材:

• Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
• Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
• Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs

可选靶材

• Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
• Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
• Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea

设备特点

• 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；
• 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体，获得镀膜效果；
• 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；
• 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用；
• 根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

外形尺寸

400mm × 300mm × 400mm（L×W×H）

净重

50 kg

质保期和质量认证

一年质保期，终身维护