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红外显微镜

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苏州工业园区汇光科技有限公司成立于2003年,是一家专业从事以显微光学、显微视觉、数码成像,自动化测量以及非标智能检测类为核心的各种工业用光学检测分析仪器和设备的研发、生产与销售。

详细信息

BX51-IR型近红外显微镜

MX63L-IR型近红外显微镜(12”晶圆检查专用显微镜)

红外物镜

LMPLN5XIRLMPLN10XIRLCPLN20XIRLCPLN50XIRLCPLN100XIR注意



倍数数值孔径工作距离(mm)硅片厚度分辨率(μm)
5X0.123——5.50
10X0.318——1.83
20X0.458.30-1.21.22
50X0.654.50-1.20.85
100X0.851.20-10.65


注:分辨率在1100nm波长下计算


新旧红外物镜性能对比


LMPL20XIR(旧型号)LCPLN20XIR(新型号)LMPL50XIR(旧型号)
LCPLN50XIR(新型号)LMPL100XIR(旧型号)LCPLN100XIR(新型号)


红外显微镜的应用

– Vcsel芯片隐裂(cracks)、InGaAs瑕疵红外无损检测

– 法拉第激光隔离器,Faraday Isolator近红外无损检测

– die chip 失效分析

– 红外透射Wafer正反面定位标记重合误差无损测量

– 硅基半导体Wafer、碲化镉CdTe、碲镉汞HgCdTe衬底无损红外检测

– 太阳能电池组件综合缺陷红外检测

Vcsel芯片隐裂(cracks)


法拉第激光隔离器胶合偏振片无损检验

die chip 失效分析

红外Wafer正反面定位标记重合误差无损测量

硅基半导体Wafer、碲化镉CdTe、碲镉汞HgCdTe衬底 缺陷无损红外检测

太阳能电池组件综合缺陷红外检测

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