晶圆研磨机-GNX200B拥有BG贴膜研磨技术

晶圆研磨机-OKAMOTO冈本GNX200B特点：

·GNX200B拥有BG贴膜研磨技术。

·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化

·无需修砂可持续进行高效平坦化加工。

·耗材损耗小，成本低廉。

·研磨废料精细减轻废水处理负担。

·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。

OKAMOTO GNX200B晶圆研磨机规格：

规格             GNX200B     GNX300B

大加工直径     Ф200     Ф300

轴承旋转数     0~3600min-1     0~3000min-1

轴承驱动电机     2.2/4 Kw/P     5.5/4 Kw/P

轴承进给速率     1~999μm/min

主轴数             2

工作轴旋转数     1~300min-1

轴承尺寸（外径）    Ф250     Ф300

质量             3900mm     5700mm

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