反应舱

材料：铝
有效尺寸：1600 x 1350 x 850mm
容积：1836L
舱门：装有可视窗口
插槽：4个  尺寸：1000 x 285mm，每个插槽可放多个285 x 756mm托盘

真空度测量

皮拉尼真空计

真空泵

干式真空泵泵组

频射发生器

根据客户应用需求定制

控制系统

PLC可实现下列功能：
自动控制反应过程；
根据处理材料设定不同的处理工艺参数；
测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；
监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；
设定操作进入密码。

电源

380V AC, 三相，50Hz, 63A

反应气体

一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）

气体输入

直径1/4英寸（6.45mm） 管道；输入压力：1Bar

尾气排放

直径28mm 输出端口

性能

急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE认证。