基本参数

镀膜材料：SiO2/SiOx

镀膜厚度：50-1000nm

均匀性：+/-2%

处理温度：RT-200℃，取决于处理速度

处理速度：0-20m/min，根据实际应用调整

枪头

3个

电缆线

3m、5m、7m可选

发生器

尺寸：520mm×460mm×210mm，重量：20Kg

控制系统

PLC可实现下列功能：

简单便捷的操作界面；

根据处理材料设定不同的处理工艺参数，并且形成工艺菜单；

设置进气停气，加电停电，输入电压等指标；

监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；

设定操作进入密码。

电源供应

220-230V AC, 50/60Hz, 15A

工艺气体

压缩空气、氮气、其他混合气体，消耗量：150L/min

气体输入

一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC），输入压力：3Bar

尾气排放

150m3/min

性能

急停开关；接地保护；CE认证

选件

定制OEM

主要应用

1，表面改性后进行等离子镀膜，膜粘接能力强；

2，支持其他镀膜研究；

3，缺陷修补等其他应用。