微光显微镜EMMI（P-100）

EMMI测试系统又名光发射显微镜，是器件失效分析中漏电定位的重要工具。P-100 EMMI测试系统是仪准科技自有品牌，进入中国已经有15年之久。目前国内拥有三安光电、中兴通讯、智芯微电子、欧司朗、北京772所、MPS、乐山菲尼克斯、深圳明微、国家软件测评中心等几十家客户。 参考价面议

EMMI和OBIRCH二合一系统TIVA

一 、漏电定位手段有三种1、侦测光子（EMMI)2、激光刺激侦测阻抗变化(TIVA&VBA）3、侦测热（Thermal） 参考价面议

双面探针台DPW-1200

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高压探针台HPW

● Failure analysis 集成电路失效分析 ● Wafer level reliability 晶圆可靠性认证● Device characterization 元器件特性量测 ● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)● IC Process monitoring 制程监控 ● Package part probing IC封装阶段打线品质测试● ESD&TDR testing ESD和TDR测试 ● Microwave probing 微波量测(高频)● 参考价面议

8寸探针台PW-800

● Failure analysis 集成电路失效分析 ● Wafer level reliability 晶圆可靠性认证● Device characterization 元器件特性量测 ● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)● IC Process monitoring 制程监控 ● Package part probing IC封装阶段打线品质测试● ESD&TDR testing ESD和TDR测试 ● Microwave probing 微波量测(高频)● 参考价面议

6寸探针台PW-600

● Failure analysis 集成电路失效分析 ● Wafer level reliability 晶圆可靠性认证● Device characterization 元器件特性量测 ● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)● IC Process monitoring 制程监控 ● Package part probing IC封装阶段打线品质测试● ESD&TDR testing ESD和TDR测试 ● Microwave probing 微波量测(高频)● 参考价面议

经济型6寸探针台MPW-600

● Failure analysis 集成电路失效分析 ● Wafer level reliability 晶圆可靠性认证● Device characterization 元器件特性量测 ● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)● IC Process monitoring 制程监控 ● Package part probing IC封装阶段打线品质测试● ESD&TDR testing ESD和TDR测试 ● Microwave probing 微波量测(高频)● 参考价面议

4寸探针台PW-400

● Failure analysis 集成电路失效分析 ● Wafer level reliability 晶圆可靠性认证● Device characterization 元器件特性量测 ● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)● IC Process monitoring 制程监控 ● Package part probing IC封装阶段打线品质测试● ESD&TDR testing ESD和TDR测试 ● Microwave probing 微波量测(高频)● 参考价面议

扫描电镜SEM

• 电子束电流范围: 1 pA - 400 nA• 加速电压: 200 V – 30 kV• 着陆能量范围: 20 eV – 30 keV• 水平视场宽：10 mm 工作距离下为 3.0 mm（对应于 最小放大倍率 x29）• 10mm 分析工作距离 1kV 时电子束分辨率: 1nm• 轻松安装和维护的电子枪 – 自动烘烤、自动启动、无需机械合轴• 保证的最短灯丝寿命：24个月 参考价面议

聚焦离子束FIB

电子光学NICol非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有：• 高亮度肖特基场发射电子抢，用于提供稳定的高分辨率分析电流• 60度双物镜透镜，支持倾斜的样品• 全自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔• 连续电子束电流控制和优化的光阑角度• 电子枪安装和维护简单－自动烘烤，自动启动，无需机械合轴• 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜• 两级扫描偏转• 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜• 电子源寿命至少24个月电子束分辨率在好的工作距离下• 30keV下STEM0.7nm• 1keV下1. 参考价面议

超声波扫描显微镜SAT

一 、提高生产效率和产量，使用ECHO 的设备和软件：（1）容易的设置和使用（2）工艺过程监测（3）合格/失效分选（4）专业认证二、SONIXTM 扫描探头频率范围从 10MHz 到 300MHz,适合各种类型的应用和材料。三、SONIXTM Echo-LS 能检测到小至 0.05um 的缺陷，而且对于bump、叠 die(3D 封装)、倒装芯片及各种传统的塑料封装等具有的检测性能。 参考价面议

I/V自动曲线追踪仪Auto Curve Tracer

Main FunctionOpen /Short TestI / V Curve tracer AnalysisIdd MeasuringPower Leakage Test 参考价面议