可测圆片尺寸

4 ,6 ,8 ,12 inch

可测电压

3KV；10KV

可测电流

10A（DC）;100A(pluse)

X、Y工作台

行程

X/Y：8inch x 8 inch

根据晶圆尺寸而定

分辨率

1μm

控制

进口导轨

CHUCK

平面度

≤10μm

背面需要加电极（可选）

晶圆固定方式

真空吸附，分档控制

Chuck Z轴（可选）

行程

10mm

分辨率

1μm

Chuck θ轴（可选）

微调范围

±7º （分辨率为0.1°）

Platen 平台

材料

非抛光型不锈钢+特种铝合金

容量

6-8个DC针座或者4个RF针座

微调旋钮

分辨率为1um
移动范围为25mm
导轨式移动

升降

8mm行程的升降抬杆，可锁定

重复度精度为±2um

上、下片

方式

手动

行程

90 mm

显微镜

配置

（1）体式显微镜
       目镜：20X
       变倍范围：0.75X-5X
       总放大倍数：15x-100x
       LED 光源照明

（2）金相显微镜

       目镜：20x
       Zoom：1-2x
       物镜：2x，10x，20x，50x
       总放大倍数：20x-1000x
       光纤光源系统

根据客户测试参数要求而定

行程

X/Y:2 inch x 2inch (分辨率：1um)
    Z: 2inch

抬起功能

显微镜可抬起，便于切换镜头。抬起后可以锁定，防止掉落。

屏蔽罩（可选）

L1350*W900*H1300mm

防震桌（可选）

W*D*H:1100*800*900mm