等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

1：微波激发区

等离子净化

本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，的提高等离子体区，极板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果*。

2：低温等离子体激发

本工艺有40支至240支充有气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的技术，从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，较大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有的能量平衡性，在粒子撞击中失能，所以低温等离子体作为原子激发是理想的一种能。在实践应用中，较大的科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体有经济价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。

3:极板区

根据被处体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以足够高的电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。

根据三类的功能区，集中的目的是实现低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法获得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。

等离子净化器技术注意事项：

1、恶臭物质能否被裂解，取决于其化学键键能是否比所提供的UV光子的能量要低。

2、裂解反应的时间短（＜0.01s），氧化反应（见反应④）的时间需2-3s。

3、提供的UV光子总功率不够或者含氧量不足，会因为裂解或氧化不而生成一些中间副产物，从而影响净化效率。对于大分子的恶臭物质体现得较为明显。

4、等离子净化器的长期稳定、，需要反应温度＜70℃，粉尘量＜100mg/m³，相对湿度＜90%。

5、条件满足的情况下，UV光解净化的净化。