光氧等离子一体机设备，综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行协同净化处理：废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波率地照射，瞬间产生光解反应；经过等离子体电场时，在纳秒级时间范围内，产生裂变分解反应；如此协同地产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而达标排放。
光氧等离子一体机设备采用-C波段紫外线与空气中的氧反应产生臭氧，分离油雾、废气等污染介质时，紫外线中的离子起决定性的作用。流星雨状的离子与介质内分子发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。
废气处理常用的方法有:冷凝回收法、吸附法、吸附法(直接吸收法、吸附法、吸附法、催化燃烧法)、直接燃烧法、催化燃烧法等。目前化学废气处理常用的设备是热氧化炉(RTO)。与传统的催化燃烧和直接燃烧热氧化炉相比，具有运行成本低、风量大、浓度低的优点。
光氧等离子一体机设备的保养：
1、强调各工种的相互配合
生产中往往因等离子光氧一体机辅助工作发生错误而影响生产的正常运行，如分析的错误将引起加料量和物料成分的改变；仪表的指示错误会欺骗操作人员，使得实际操作条件偏离工艺规程的要求。电器故障和设备故障也会引起生产的不正常。
2、严格遵守废气处理工艺技术规程
这些规程是组织生产与进行操作的基本法规，是从生产和实践中总结出来的规律性的东西。严格遵守这些法规是日常运行中重要的一条原则。
3、认真执行各项规章制度
除了严格遵守上述规程外，还应有一套适合自己实际情况的运行管理制度，如岗位责任制度，交接班制度，检测制度，设备保养、检修制度，健康检查制度，质量检验制度和经济核算制度等。
